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INLINE CLEANER

Abstract / Feature

공정에서 사용한 Tray에 존재하는 부유성 이물을 Air를 사용하여 Cleaning하는 장비 대차를 통한 수동 투입 및 AGV를 통한 자동 투입 운영 가능 상위 통신 및 FDC 제어를 통한 레시피 관리 가능 
item Specification
Tray Size폭 : 450 or 550mm(2종) 길이 : 550 or 650 or 1000mm(3종) 높이 : 450mm(Max)
Tact Time15sec
Lifter Payload10kg 이내
집진기25CMM
OptionMCR, 2매 감지, 차압 관리
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사업부 담당업무 이름 전화번호 email
본사 장비사업부 대표번호 - 041-589-1500 -
영업 - 041-589-1607 -
인사 - 041-583-1522 -
중국법인 총괄 정창용 86-0512-6292-0930 cy.jung@bhste.com
본사 장비사업부
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-
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-
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-
중국법인
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